Tantal-Ziel
Produktparameter
| Produktname: Hochreines Tantal-Target, Reines Tantal-Target | |
| Material | Tantal |
| Reinheit | 99,95 % min oder 99,99 % min |
| Farbe | Ein glänzendes, silbernes Metall, das sehr korrosionsbeständig ist. |
| Anderer Name | Ta-Ziel |
| Standard | ASTM B 708 |
| Größe | Durchmesser >10 mm * Dicke >0,1 mm |
| Form | Planar |
| Mindestbestellmenge | 5 Stück |
| Lieferzeit | 7 Tage |
| Gebraucht | Sputterbeschichtungsmaschinen |
Tabelle 1: Chemische Zusammensetzung
| Chemie (%) | |||||||||||||
| Bezeichnung | Hauptkomponente | Verunreinigungen max | |||||||||||
| Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
| Ta1 | Rest | 0,004 | 0,003 | 0,002 | 0,004 | 0,006 | 0,002 | 0,03 | 0,015 | 0,004 | 0,0015 | 0,002 | |
| Ta2 | Rest | 0,01 | 0,01 | 0,005 | 0,02 | 0,02 | 0,005 | 0,08 | 0,02 | 0,01 | 0,0015 | 0,01 | |
Tabelle 2: Mechanische Anforderungen (geglühter Zustand)
| Güteklasse und Größe | Geglüht | ||
| Zugfestigkeitmin, psi (MPa) | Mindeststreckgrenze, psi (MPa) (2%) | Mindestdehnung, % (1 Zoll Messlänge) | |
| Blech, Folie und Karton (RO5200, RO5400) Dicke < 0,060" (1,524 mm)Dicke ≥ 0,060 Zoll (1,524 mm) | 30000 (207) | 20000 (138) | 20 |
| 25000 (172) | 15000 (103) | 30 | |
| Ta-10W (RO5255)Blech, Folie und Karton | 70000 (482) | 60000 (414) | 15 |
| 70000 (482) | 55000 (379) | 20 | |
| Ta-2,5W (RO5252)Dicke <0,125" (3,175 mm)Dicke ≥ 0,125 Zoll (3,175 mm) | 40000 (276) | 30000 (207) | 20 |
| 40000 (276) | 22000 (152) | 25 | |
| Ta-40Nb (RO5240)Dicke <0,060" (1,524 mm) | 40000 (276) | 20000 (138) | 25 |
| Dicke > 0,060" (1,524 mm) | 35000 (241) | 15000 (103) | 25 |
Größe und Reinheit
Durchmesser: dia (50~400)mm
Dicke: (3~28 mm)
Güteklasse: RO5200, RO 5400, RO5252 (Ta-2,5 W), RO5255 (Ta-10 W).
Reinheit: ≥99,95 %, ≥99,99 %
Unser Vorteil
Rekristallisationsgrad: mind. 95 %; Korngröße: mind. 40 μm; Oberflächenrauheit: max. Ra 0,4; Ebenheit: max. 0,1 mm bzw. 0,10 %; Toleranz: Durchmessertoleranz ± 0,254
Anwendung
Tantal-Targets werden als Elektrodenmaterial und Oberflächentechnikmaterial in der Beschichtungsindustrie von Flüssigkristallanzeigen (LCDs) aufgrund ihrer Hitzebeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohen Leitfähigkeit weit verbreitet eingesetzt.
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