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Hochreines 99,8% Titan Grad 7 Runden Sputtertargets Ti-Legierungstarget für Lieferanten von Beschichtungsfabriken

Kurze Beschreibung:

Produktname: Titantarget für PVD-Beschichtungsmaschine

Grad: Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)

Legierungstarget: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc

Herkunft: Stadt Baoji, Provinz Shaanxi, China

Titangehalt: ≥99,5 (%)

Verunreinigungsgehalt: <0,02 (%)

Dichte: 4,51 oder 4,50 g/cm3

Norm: ASTM B381;ASTM F67, ASTM F136


Produktdetail

Produkt Tags

Produktparameter

Produktname Titantarget für PVD-Beschichtungsmaschine
Grad Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legierungstarget: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc
Herkunft Stadt Baoji, Provinz Shaanxi, China
Titangehalt ≥99,5 (%)
Gehalt an Verunreinigungen <0,02 (%)
Dichte 4,51 oder 4,50 g/cm3
Standard ASTM B381;ASTM F67, ASTM F136
Größe 1. Rundes Ziel: Ø30 - 2000 mm, Dicke 3,0 mm - 300 mm;2. Platte Targe: Länge: 200–500 mm Breite: 100–230 mm Dicke: 3 – 40 mm;3. Rohrziel: Durchmesser: 30-200 mm Dicke: 5-20 mm Länge: 500-2000 mm;4. Angepasst ist verfügbar
Technik Geschmiedet und CNC-bearbeitet
Anwendung Halbleitertrennung, Filmbeschichtungsmaterialien, Speicherelektrodenbeschichtung, Sputterbeschichtung, Oberflächenbeschichtung, Glasbeschichtungsindustrie.

Chemische Anforderungen an Titantargets

ASTM B265

GB/T 3620.1

JIS H4600

Elementargehalt (≤wt%)

N

C

H

Fe

O

Andere

Titan rein

Gr.1

TA1

Klasse 1

0,03

0,08

0,015

0,20

0,18

/

Gr.2

TA2

Klasse 2

0,03

0,08

0,015

0,30

0,25

/

TitanLegierung

Gr.5

TC4Ti-6Al-4V

Klasse60

0,05

0,08

0,015

0,40

0,2

Al:5,5-6,75

V: 3,5-4,5

Gr.7

TA9

Klasse12

0,03

0,08

0,015

0,30

0,25

Pd: 0,12-0,25

Gr.12

TA10

Klasse60E

0,03

0,08

0,015

0,30

0,25

Mo: 0,2-0,4

Ni: 0,6-0,9

Mechanische Längseigenschaften bei Raumtemperatur

Grad

ZugfestigkeitRm/MPa(>=)

ErtragsstärkeRp0,2 (MPa)

VerlängerungA4D(%)

Verringerung der FlächeZ(%)

Gr1

240

140

24

30

Gr2

400

275

20

30

Gr5

895

825

10

25

Gr7

370

250

20

25

Gr12

485

345

18

25

Sputtertargets aus Titan

Die übliche Größe des Titan-Sputtertargets: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 usw.

Kann auch nach Kundenwunsch oder Zeichnungen anpassen

Zielanforderungen: hohe Reinheit, gleichmäßige Kristallkörner und gute Kompaktheit.

Reinheit: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.

Titan-Target-Produktionsprozess

Titanschwamm --- zum Titanbarren geschmolzen --- Test --- Barren schneiden --- Schmieden --- Walzen --- Abziehen --- Richten --- Ultraschallfehlererkennung --- Verpackung

Eigenschaften von Titanzielen

1. Niedrige Dichte und hohe Spezifikationsfestigkeit

2. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit

3. Gute Beständigkeit gegen Hitzeeinwirkung

4. Ausgezeichnetes Lager für kryogene Eigenschaften

5. Nicht magnetisch und ungiftig

6. Gute thermische Eigenschaften

7. Niedriger Elastizitätsmodul


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