Hochreines 99,8% Titan Grad 7 Runden Sputtertargets Ti-Legierungstarget für Lieferanten von Beschichtungsfabriken
Produktparameter
| Produktname | Titantarget für PVD-Beschichtungsmaschine |
| Grad | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legierungstarget: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc |
| Herkunft | Stadt Baoji, Provinz Shaanxi, China |
| Titangehalt | ≥99,5 (%) |
| Gehalt an Verunreinigungen | <0,02 (%) |
| Dichte | 4,51 oder 4,50 g/cm3 |
| Standard | ASTM B381;ASTM F67, ASTM F136 |
| Größe | 1. Rundes Ziel: Ø30 - 2000 mm, Dicke 3,0 mm - 300 mm;2. Platte Targe: Länge: 200–500 mm Breite: 100–230 mm Dicke: 3 – 40 mm;3. Rohrziel: Durchmesser: 30-200 mm Dicke: 5-20 mm Länge: 500-2000 mm;4. Angepasst ist verfügbar |
| Technik | Geschmiedet und CNC-bearbeitet |
| Anwendung | Halbleitertrennung, Filmbeschichtungsmaterialien, Speicherelektrodenbeschichtung, Sputterbeschichtung, Oberflächenbeschichtung, Glasbeschichtungsindustrie. |
Chemische Anforderungen an Titantargets
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementargehalt (≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Andere | ||||
| Titan rein | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanLegierung | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V: 3,5-4,5 |
| Gr.7 | TA9 | Klasse12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
| Gr.12 | TA10 | Klasse60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo: 0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 | |
Mechanische Längseigenschaften bei Raumtemperatur
| Grad | ZugfestigkeitRm/MPa(>=) | ErtragsstärkeRp0,2 (MPa) | VerlängerungA4D(%) | Verringerung der FlächeZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Sputtertargets aus Titan
Die übliche Größe des Titan-Sputtertargets: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 usw.
Kann auch nach Kundenwunsch oder Zeichnungen anpassen
Zielanforderungen: hohe Reinheit, gleichmäßige Kristallkörner und gute Kompaktheit.
Reinheit: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Titan-Target-Produktionsprozess
Titanschwamm --- zum Titanbarren geschmolzen --- Test --- Barren schneiden --- Schmieden --- Walzen --- Abziehen --- Richten --- Ultraschallfehlererkennung --- Verpackung
Eigenschaften von Titanzielen
1. Niedrige Dichte und hohe Spezifikationsfestigkeit
2. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit
3. Gute Beständigkeit gegen Hitzeeinwirkung
4. Ausgezeichnetes Lager für kryogene Eigenschaften
5. Nicht magnetisch und ungiftig
6. Gute thermische Eigenschaften
7. Niedriger Elastizitätsmodul
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