Hochreines 99,8 % Titan, Güteklasse 7, Sputtertargets, Ti-Legierungstarget für Beschichtungsfabriklieferanten
Produktparameter
| Produktname | Titantarget für PVD-Beschichtungsmaschine |
| Grad | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legierungsziel: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr usw |
| Herkunft | Baoji-Stadt, Provinz Shaanxi, China |
| Titangehalt | ≥99,5 (%) |
| Gehalt an Verunreinigungen | <0,02 (%) |
| Dichte | 4,51 oder 4,50 g/cm3 |
| Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Größe | 1. Rundes Ziel: Ø30–2000 mm, Dicke 3,0 mm–300 mm;2. Plattenziel: Länge: 200–500 mm, Breite: 100–230 mm, Dicke: 3–40 mm;3. Rohrziel: Durchmesser: 30–200 mm, Dicke: 5–20 mm, Länge: 500–2000 mm;4. Kundenspezifisch ist verfügbar |
| Technik | Geschmiedet und CNC-bearbeitet |
| Anwendung | Halbleitertrennung, Filmbeschichtungsmaterialien, Speicherelektrodenbeschichtung, Sputterbeschichtung, Oberflächenbeschichtung, Glasbeschichtungsindustrie. |
Chemische Anforderungen an Titantargets
| ASTM B265 | GB/T 3620,1 | JIS H4600 | Elementgehalt (≤ Gew.-%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Andere | ||||
| Titan pur | Gr.1 | TA1 | Klasse1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Klasse2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanLegierung | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
| Gr.7 | TA9 | Klasse12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12–0,25 | |
| Gr.12 | TA10 | Klasse60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Längsmechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur
| Grad | ZugfestigkeitRm/MPa(>=) | StreckgrenzeRp0,2(MPa) | VerlängerungA4D(%) | FlächenreduzierungZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Sputtertargets aus Titan
Die übliche Größe des Titan-Sputtertargets: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 usw.
Kann auch nach Kundenwunsch oder Zeichnungen angepasst werden
Zielanforderungen: hohe Reinheit, gleichmäßige Kristallkörner und gute Kompaktheit.
Reinheit: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Herstellungsprozess für Titantargets
Titanschwamm --- zu Titanbarren geschmolzen --- Test --- Schneiden des Barrens --- Schmieden --- Walzen --- Schälen --- Richten --- Ultraschallfehlererkennung --- Verpacken
Merkmale des Titanziels
1. Geringe Dichte und hohe Spezifikationsfestigkeit
2. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit
3. Gute Beständigkeit gegen Hitzeeinwirkung
4. Hervorragende Tragfähigkeit für kryogene Eigenschaften
5. Nicht magnetisch und ungiftig
6. Gute thermische Eigenschaften
7. Niedriger Elastizitätsmodul
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