Hochreine 99,8% Titan Grad 7 runde Sputtertargets, Ti-Legierungstarget für Beschichtungsfabriken, Lieferant
Produktparameter
| Produktname | Titan-Target für PVD-Beschichtungsanlage |
| Grad | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legierungsziel: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr usw |
| Herkunft | Baoji-Stadt, Provinz Shaanxi, China |
| Titangehalt | ≥99,5 (%) |
| Verunreinigungsgehalt | <0,02 (%) |
| Dichte | 4,51 oder 4,50 g/cm³ |
| Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Größe | 1. Rundes Ziel: Ø30--2000mm, Dicke 3,0mm--300mm;2. Plattengröße: Länge: 200-500 mm Breite: 100-230 mm Dicke: 3-40 mm;3. Rohrziel: Durchmesser: 30-200 mm, Wandstärke: 5-20 mm, Länge: 500-2000 mm;4. Individuelle Anpassung ist möglich |
| Technik | Geschmiedet und CNC-gefräst |
| Anwendung | Halbleitertrennung, Filmbeschichtungsmaterialien, Beschichtung von Speicherelektroden, Sputterbeschichtung, Oberflächenbeschichtung, Glasbeschichtungsindustrie. |
Chemische Anforderungen an das Titan-Target
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementgehalt (≤ Gew.-%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Andere | ||||
| Reines Titan | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanLegierung | Gr. 5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
| Gr.7 | TA9 | Klasse 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
| 12. Klasse | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Längsmechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur
| Grad | ZugfestigkeitRm/MPa (>=) | StreckgrenzeRp0,2 (MPa) | VerlängerungA4D (%) | FlächenreduzierungZ (%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titan-Sputtertargets
Gängige Größen von Titan-Sputtertargets: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 usw.
Wir können die Anpassung auch an Kundenwünsche oder Zeichnungen anpassen.
Zielvorgaben: hohe Reinheit, einheitliche Kristallkörner und gute Kompaktheit.
Reinheit: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Produktionsprozess für Titan-Targets
Titanschwamm --- zu Titanbarren geschmolzen --- Prüfung --- Zuschneiden des Barrens --- Schmieden --- Walzen --- Schälen --- Richten --- Ultraschallprüfung --- Verpackung
Merkmale des Titan-Ziels
1. Niedrige Dichte und hohe Festigkeit gemäß Spezifikation
2. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit
3. Gute Beständigkeit gegenüber Hitzeeinwirkung
4. Hervorragende Lagerfähigkeit für Tieftemperaturanwendungen
5. Nicht magnetisch und ungiftig
6. Gute thermische Eigenschaften
7. Niedriger Elastizitätsmodul
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