High Pure 99,8% Titangrad 7 Runden Sputter -Ziele Ti -Legierung Ziel für Beschichtungsfabriklieferant
Produktparameter
| Produktname | Titanziel für PVD -Beschichtungsmaschine |
| Grad | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, Gr12)Legierungsziel: ti-al, ti-cr, ti-zr usw. |
| Herkunft | Baoji Stadt Shaanxi Provinz China |
| Titaninhalt | ≥ 99,5 (%) |
| Verunreinigungsinhalt | <0,02 (%) |
| Dichte | 4,51 oder 4,50 g/cm3 |
| Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Größe | 1. Runde Ziel: Ø30--2000 mm, Dicke 3,0 mm-300 mm;2. Platten-Targe: Länge: 200-500 mm Breite: 100-230 mm Dicke: 3-40 mm;3. Rohrziel: Durchmesser: 30-200 mm Dicke: 5-20 mm Länge: 500-2000 mm;4.. Customized ist verfügbar |
| Technik | Geschmiedet und CNC bearbeitet |
| Anwendung | Halbleitertrennung, Filmbeschichtungsmaterialien, Speicherelektrodenbeschichtung, Sputterbeschichtung, Oberflächenbeschichtung, Glasbeschichtungsindustrie. |
Chemische Anforderungen des Titan -Ziels
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementarinhalt (≤ wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Andere | ||||
| Titan rein | Gr.1 | Ta1 | Klasse1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | Ta2 | Klasse2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanLegierung | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | AL: 5.5-6.75 V: 3.5-4.5 |
| Gr.7 | Ta9 | Klasse12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | PD: 0,12-0,25 | |
| Gr.12 | TA10 | Klasse 60e | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | MO: 0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 | |
Longitudinale mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur
| Grad | ZugfestigkeitRM/MPA (> =) | ErtragsfestigkeitRP0.2 (MPA) | VerlängerungA4D (%) | BereichsreduzierungZ (%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| GR5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| GR12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titan -Sputterziele
Die gemeinsame Größe des Titan -Sputterziels: φ100*40, φ98*40, φ95*45, φ90*40, φ85*35, φ65*40 usw.
Kann auch gemäß den Anfragen oder Zeichnungen des Kunden anpassen
Zielanforderungen: hohe Reinheit, gleichmäßige Kristallkörner und gute Kompaktheit.
Reinheit: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Titanie -Zielproduktionsprozess
Titanschwamm --- geschmolzen in Titanium-Bar
Titan -Zielmerkmale
1. Niedrige Dichte und hohe Spezifikationsstärke
2. Ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit
3.. Gute Widerstand gegen Wärmewirkung
4. Ausgezeichnete Lagerung der Kryogenik -Eigenschaft
5. Nichtmagnetisch und ungiftig
6. Gute thermische Eigenschaften
7. geringer Elastizitätsmodul
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